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孵化企业

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天津华海清科机电科技有限公司
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天津华海清科机电科技有限公司

 

  天津华海清科机电科技有限公司是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略,为推动我国化学机械抛光(CMP)技术和设备产业化成立的高科技企业。

 

  华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务,核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才,产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。

 

  华海清科依靠国际化的经营理念和人才团队、先进的工艺试验条件,致力于为相关领域的企业、高校和科研院所提供先进的CMP设备及工艺的集成解决方案,遵循“科技服务社会”的公司宗旨,持续进行以优良的品质和卓越的服务赢得国内外用户的信赖。

 

Universal-300 Plus

  Universal-300Plus 新型12英寸CMP设备,采用多种成熟的关键技术,具备技术水平高、产量高、性能稳定、以及多单元、多工艺灵活组合等优点,可满足不同客户的工艺需求,具有强大的市场竞争力。

 

Universal-300 Dual

  Universal-300 Dual是根据市场需求, 拥有完全自主知识产权的新型12英寸CMP设备, 采用Universal-300 Plus的成熟技术, 集成多种终点检测技术, 具备技术水平高、产量高、性能稳定、多工艺灵活组合等优点, 可以极大地满足不同客户的工艺需求, 具有极强的市场竞争力。

 

Universal-300

  Universal-300是我国首台进入大生产线的12”CMP设备,该机型技术含量高、性能稳定,适用于集成电路制造、晶圆基片生产、CMP研磨材料研发和相关的科学研究。

 

Universal-200 Plus

  Universal-200 Plus是根据市场需求,拥有完全自主知识产权的新型8英寸C M P设备,采用Universal-300 Plus的成熟设计,集成多种终点检测技术, 具备技术水平高、产量高、性能稳定、多清洗单元、多工艺灵活组合等优点, 可以极大地满足不同客户的工艺需求, 具有极强的市场竞争力。

 

 

CMP工艺开发服务

 

  华海清科拥有自主研发的多系列高精密CMP抛光设备,拥有专业的技术团队、精准的测量分析仪器,可接受企业和科研院所委托CMP工艺开发服务,为企业和科研院所提供CMP工艺解决方案,满足其工艺指标要求。

 

 

CMP代工服务

 

  华海清科拥有自主研发的多系列高精密CMP抛光设备,拥有专业的技术团队、完备的抛光加工车间和精准的测量分析仪器,可以精确测量金属/非金属的膜厚,粗糙度,Dishing, Erosion等。可根据客户制程要求提供2英寸到-12英寸的定制化CMP代工服务。

 

  CMP代工范围包括:

  1. Si/Oxide/W/Cu  Patter wafer CMP代工服务;

  2. TSV CMP代工服务;

  3. Wafer reclaim CMP代工服务;

  4. MEMS、蓝宝石、砷化镓等不同材质材料的CMP代工服务。

 

 

联系方式

地址:天津市津南区咸水沽镇海河科技园区聚兴道9号,8号楼

电话:022-59781212

传真:022-59781990

邮箱:sales@hwatsing.com

邮编:300350

网址:http://www.hwatsing.com

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